第23章升级完成，华国第一台EUV光刻机问世 (第2/2页)

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光刻机对于移动平均偏差、移动标准偏差等数值的要求更高一些。

【物品：ASML第四代ArFi光刻机】

【光源波长：13.5纳米】

【经验�

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